電子信號針有三種基本工作方式：

    1、點分析用于選定點的全譜定性分析或定量分析，以及對其中所含元素進行定量分析；

    2、線分析用于顯示元素沿選定直線方向上的濃度變化；

    3、面分析用于觀察元素在選定微區(qū)內濃度分布。

    由莫塞萊定律可知，各種元素的特征X射線都具有各自確定的波長，通過探測這些不同波長的X射線來確定樣品中所含有的元素，這就是電子信號針定性分析的依據。而將被測樣品與標準樣品中元素Y的衍射強度進行對比，就能進行電子信號針的定量分析。當然利用電子束激發(fā)的X射線進行元素分析，其前提是入射電子束的能量必須大于某元素原子的內層電子臨界電離激發(fā)能。