電子信號針有三種基本工作方式：

    1、點分析用于選定點的全譜定性分析或定量分析，以及對其中所含元素進行定量分析；

    2、線分析用于顯示元素沿選定直線方向上的濃度變化；

    3、面分析用于觀察元素在選定微區(qū)內(nèi)濃度分布。

    由莫塞萊定律可知，各種元素的特征X射線都具有各自確定的波長，通過探測這些不同波長的X射線來確定樣品中所含有的元素，這就是電子信號針定性分析的依據(jù)。而將被測樣品與標準樣品中元素Y的衍射強度進行對比，就能進行電子信號針的定量分析。當(dāng)然利用電子束激發(fā)的X射線進行元素分析，其前提是入射電子束的能量必須大于某元素原子的內(nèi)層電子臨界電離激發(fā)能。